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無(wú)油渦旋真空泵的工作原理是通過(guò)兩條漸開(kāi)線(xiàn)螺旋曲線(xiàn)盤(pán)構成，即一個(gè)靜渦旋盤(pán)和一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)。動(dòng)渦旋盤(pán)作偏心安裝，靜渦旋盤(pán)與動(dòng)渦旋盤(pán)便形成月芽形腔體。隨著(zhù)動(dòng)渦旋盤(pán)轉動(dòng)，月芽形腔體不斷向里旋轉壓縮，Z后從中間排出至出氣口。動(dòng)渦旋盤(pán)連續運轉，氣體不斷從進(jìn)氣口吸入、壓縮，由出氣口排出，形成真空

目前無(wú)油渦旋真空泵的應用領(lǐng)域為:
①半導體行業(yè)——薄膜制備設備、半導體器件封裝設備
②科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線(xiàn)、電子顯微鏡、分析測試儀器
③機械設備行業(yè)——材料制備設備、真空檢測、材料提純設備
④化學(xué)工業(yè)
⑤醫*設備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備
⑥包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設備